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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 3um的铜怎么弄？
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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

[求助] 3um的铜怎么弄？ 已有6人参与

3um的铜怎么弄？对表面晶粒要求较高，镀的不行，溅射太厚，求支招
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1楼 2014-01-23 10:54:28
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Apple.D.

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by xiaoliu0140 at 2014-02-12 10:01:47
工艺间里的机器溅射铜的速率是76埃每min，3um算下来得6个多小时...

仪器不同，速率不同，且功率、衬底温度、Ar气流量、真空度都会影响速率，你可以用直流溅射，速率会提高很多。
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10楼2014-02-12 13:01:14
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xiaoliu0140: 金币+3, ★有帮助 2014-02-12 09:45:25
用磁控溅射应该没问题的，如果担心控制不好，可以用射频溅射，厚度比较容易控制，且3um很厚了。
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2楼2014-01-23 11:00:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个确实尴尬。
蒸发倒是不太在乎Cu的厚度，几个微米不是啥问题，表面质量也好。但是找到合适的机器比较麻烦，否则就太贵了。
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3楼2014-01-23 13:38:29
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
溅射的怎么就太厚了呢？是没有调整好参数吧。很多磁控溅射工艺溅镀几十或几百纳米金属薄膜都无问题。
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4楼2014-01-23 19:31:13
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