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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

[求助] 3um的铜怎么弄? 已有6人参与

3um的铜怎么弄?对表面晶粒要求较高,镀的不行,溅射太厚,求支招
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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-01-23 11:00:30
用磁控溅射应该没问题的,如果担心控制不好,可以用射频溅射,厚度比较容易控制,且3um很厚了。

工艺间里的机器溅射铜的速率是76埃每min,3um算下来得6个多小时
8楼2014-02-12 10:01:47
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xiaoliu0140: 金币+3, 有帮助 2014-02-12 09:45:25
用磁控溅射应该没问题的,如果担心控制不好,可以用射频溅射,厚度比较容易控制,且3um很厚了。
2楼2014-01-23 11:00:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个确实尴尬。
蒸发倒是不太在乎Cu的厚度,几个微米不是啥问题,表面质量也好。但是找到合适的机器比较麻烦,否则就太贵了。
3楼2014-01-23 13:38:29
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
溅射的怎么就太厚了呢?是没有调整好参数吧。很多磁控溅射工艺溅镀几十或几百纳米金属薄膜都无问题。
4楼2014-01-23 19:31:13
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