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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 3um的铜怎么弄？
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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by reninhat at 2014-02-12 12:28:56
蒸发能快一点

蒸发更慢吧？一般10nm以下的用蒸发
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11楼2014-02-13 09:43:56
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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by ping10nkc at 2014-01-26 13:49:15
看你的基材是什么，现在的微电铸基本都是可以镀上去的，表面质量也没问题。
磁控工艺成熟的，你没控制好工艺，
蒸镀呢，可行吗、。

基底就硅片，溅射工程师说那台机子最多能溅射1um，镀铜镀过一次，但是看完电镜后才知道，表面好多断裂层，甚至是坑
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12楼2014-02-17 14:08:51
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