3um的铜怎么弄？ - 微米和纳米 - 微纳加工 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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金虫 (初入文坛)

引用回帖:

9楼: Originally posted by reninhat at 2014-02-12 12:28:56
蒸发能快一点

蒸发更慢吧？一般10nm以下的用蒸发

11楼2014-02-13 09:43:56

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金虫 (初入文坛)

引用回帖:

5楼: Originally posted by ping10nkc at 2014-01-26 13:49:15
看你的基材是什么，现在的微电铸基本都是可以镀上去的，表面质量也没问题。
磁控工艺成熟的，你没控制好工艺，
蒸镀呢，可行吗、。

基底就硅片，溅射工程师说那台机子最多能溅射1um，镀铜镀过一次，但是看完电镜后才知道，表面好多断裂层，甚至是坑

12楼2014-02-17 14:08:51

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