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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

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9楼: Originally posted by reninhat at 2014-02-12 12:28:56
蒸发能快一点

蒸发更慢吧?一般10nm以下的用蒸发
11楼2014-02-13 09:43:56
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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by ping10nkc at 2014-01-26 13:49:15
看你的基材是什么,现在的微电铸基本都是可以镀上去的,表面质量也没问题。
磁控工艺成熟的,你没控制好工艺,
蒸镀呢,可行吗、。

基底就硅片,溅射工程师说那台机子最多能溅射1um,镀铜镀过一次,但是看完电镜后才知道,表面好多断裂层,甚至是坑
12楼2014-02-17 14:08:51
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