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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » PCVD和PECVD有啥区别吗？
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Angusskanal

木虫 (小有名气)

[求助] PCVD和PECVD有啥区别吗？ 已有4人参与

PCVD 等离子体化学气相沉积
PECVD等离子增强化学气相淀积

请问原理上有啥区别吗？
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为科研奋斗终生
1楼 2014-01-22 20:53:20
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zzkejing

禁虫 (正式写手)
★
Angusskanal: 金币+1, ★有帮助 2014-06-25 06:39:57
本帖内容被屏蔽
5楼2014-06-24 22:03:03
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wgl2003

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Angusskanal: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-06-25 06:39:39
原理上都一样，都是等离子体进行的反应，如果按等离子浓度来分，
PCVD<PECVD <HDP CVD 高密度等离子体化学气相淀积
相应的CVD设备设计的时候，等离子体密度越高对设备额要求越高，裂解气体需要的能量就越高，射频功率越高
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2楼2014-01-23 10:22:05
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是多了个enhanced，好像就能量高一点。
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哈哈哈哈，来吧
3楼2014-01-23 14:15:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PCVD和PECVD之间就是等离子体能量密度的差别吧。
赞一下 回复此楼
4楼2014-01-23 19:33:54
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