应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » PCVD和PECVD有啥区别吗？
61/1返回列表
查看: 2168  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

Angusskanal

木虫 (小有名气)

[求助] PCVD和PECVD有啥区别吗？ 已有4人参与

PCVD 等离子体化学气相沉积
PECVD等离子增强化学气相淀积

请问原理上有啥区别吗？
回复此楼

» 猜你喜欢
为科研奋斗终生
1楼 2014-01-22 20:53:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wgl2003

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Angusskanal: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-06-25 06:39:39
原理上都一样，都是等离子体进行的反应，如果按等离子浓度来分，
PCVD<PECVD <HDP CVD 高密度等离子体化学气相淀积
相应的CVD设备设计的时候，等离子体密度越高对设备额要求越高，裂解气体需要的能量就越高，射频功率越高
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2014-01-23 10:22:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是多了个enhanced，好像就能量高一点。
赞一下 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
3楼2014-01-23 14:15:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PCVD和PECVD之间就是等离子体能量密度的差别吧。
赞一下 回复此楼
4楼2014-01-23 19:33:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)
★
Angusskanal: 金币+1, ★有帮助 2014-06-25 06:39:57
本帖内容被屏蔽
5楼2014-06-24 22:03:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

安徽锐达微波

银虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wgl2003 at 2014-01-23 10:22:05
原理上都一样，都是等离子体进行的反应，如果按等离子浓度来分，
PCVD&lt;PECVD &lt;HDP CVD 高密度等离子体化学气相淀积
相应的CVD设备设计的时候，等离子体密度越高对设备额要求越高，裂解气体需要的能 ...

可以交个朋友吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
工业微波应用科技研究，欢迎共同交流，学习。
6楼2018-04-12 06:44:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Angusskanal 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿上海交大生物与医药专硕324分，求调剂 +3 jiajunX 2026-03-22 3/150 2026-03-22 19:32 by brblmd
[考研] 一志愿 西北大学 ，070300化学学硕，总分287，双非一本，求调剂。 +3 晨昏线与星海 2026-03-20 3/150 2026-03-22 16:00 by ColorlessPI
[考研] 275求调剂 +6 shansx 2026-03-22 8/400 2026-03-22 15:27 by barlinike
[考研] 384求调剂 +3 子系博 2026-03-22 4/200 2026-03-22 11:04 by 搏击518
[考研] 材料求调剂 +5 @taotao 2026-03-21 5/250 2026-03-21 20:55 by lbsjt
[考研] 材料工程专硕 348分求调剂 +3 冬辞. 2026-03-17 5/250 2026-03-21 18:47 by 学员8dgXkO
[考研] 302求调剂 +12 呼呼呼。。。。 2026-03-17 12/600 2026-03-21 17:29 by ColorlessPI
[考研] 332求调剂 +3 凤凰院丁真 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:27 by luoyongfeng
[考研] 材料学学硕080502 337求调剂-一志愿华中科技大学 +4 顺顺顺mr 2026-03-18 5/250 2026-03-21 10:22 by luoyongfeng
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业（081702）315分求调剂 +12 yangfz 2026-03-17 12/600 2026-03-21 03:30 by JourneyLucky
[考研] 265求调剂 +9 梁梁校校 2026-03-17 9/450 2026-03-21 02:17 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南京理工大学085701资源与环境302分求调剂 +4 葵梓卫队 2026-03-18 6/300 2026-03-20 23:02 by JourneyLucky
[考研] 317求调剂 +5 申子申申 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:26 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ^O^乜 2026-03-19 7/350 2026-03-20 21:43 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西安交通大学 学硕 354求调剂211或者双一流 +3 我想要读研究生 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:13 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工专硕调剂 +7 heming3743 2026-03-16 7/350 2026-03-20 19:31 by zhukairuo
[考研] 一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂 +5 1孙悟空 2026-03-17 6/300 2026-03-19 23:46 by zcl123
[考研] 材料考研调剂 +3 xwt。 2026-03-19 3/150 2026-03-19 11:22 by w沐阳w
[考研] 材料，纺织，生物（0856、0710），化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨； 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭