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Angusskanal

木虫 (小有名气)

[求助] PCVD和PECVD有啥区别吗?已有4人参与

PCVD 等离子体化学气相沉积
PECVD等离子增强化学气相淀积

请问原理上有啥区别吗?
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为科研奋斗终生
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
PCVD和PECVD之间就是等离子体能量密度的差别吧。
4楼2014-01-23 19:33:54
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