应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » PCVD和PECVD有啥区别吗？
61/1返回列表
查看: 2417  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

Angusskanal

木虫 (小有名气)

[求助] PCVD和PECVD有啥区别吗？ 已有4人参与

PCVD 等离子体化学气相沉积
PECVD等离子增强化学气相淀积

请问原理上有啥区别吗？
回复此楼

» 猜你喜欢
为科研奋斗终生
1楼 2014-01-22 20:53:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wgl2003

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Angusskanal: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-06-25 06:39:39
原理上都一样，都是等离子体进行的反应，如果按等离子浓度来分，
PCVD<PECVD <HDP CVD 高密度等离子体化学气相淀积
相应的CVD设备设计的时候，等离子体密度越高对设备额要求越高，裂解气体需要的能量就越高，射频功率越高
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2014-01-23 10:22:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是多了个enhanced，好像就能量高一点。
赞一下 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
3楼2014-01-23 14:15:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PCVD和PECVD之间就是等离子体能量密度的差别吧。
赞一下 回复此楼
4楼2014-01-23 19:33:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)
★
Angusskanal: 金币+1, ★有帮助 2014-06-25 06:39:57
本帖内容被屏蔽
5楼2014-06-24 22:03:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

安徽锐达微波

银虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wgl2003 at 2014-01-23 10:22:05
原理上都一样，都是等离子体进行的反应，如果按等离子浓度来分，
PCVD&lt;PECVD &lt;HDP CVD 高密度等离子体化学气相淀积
相应的CVD设备设计的时候，等离子体密度越高对设备额要求越高，裂解气体需要的能 ...

可以交个朋友吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
工业微波应用科技研究，欢迎共同交流，学习。
6楼2018-04-12 06:44:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Angusskanal 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +3 布布和一二 2026-08-11 4/200 2026-08-11 15:20 by aasahr
[论文投稿] 职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊 +3 工厂打螺丝 2026-08-08 3/150 2026-08-11 13:42 by 会议编辑
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 6/300 2026-08-11 13:19 by JACS/Angew
[基金申请] 听说今天filecode变了 +26 布布和一二 2026-08-06 49/2450 2026-08-11 13:18 by WH3796
[基金申请] FileCode能看出啥？ +7 要乐观耀哥 2026-08-10 17/850 2026-08-11 10:50 by 要乐观耀哥
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +8 家与远方 2026-08-10 13/650 2026-08-11 09:49 by 家与远方
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +3 majunge000 2026-08-10 3/150 2026-08-10 15:46 by lch2012
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] fileCode有新解读？ +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&amp;fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭