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Angusskanal

木虫 (小有名气)

[求助] PCVD和PECVD有啥区别吗?已有4人参与

PCVD 等离子体化学气相沉积
PECVD等离子增强化学气相淀积

请问原理上有啥区别吗?
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为科研奋斗终生
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wgl2003

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
Angusskanal: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-06-25 06:39:39
原理上都一样,都是等离子体进行的反应,如果按等离子浓度来分,
PCVD<PECVD <HDP CVD 高密度等离子体化学气相淀积
相应的CVD设备设计的时候,等离子体密度越高对设备额要求越高,裂解气体需要的能量就越高,射频功率越高
2楼2014-01-23 10:22:05
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不是多了个enhanced,好像就能量高一点。
哈哈哈哈,来吧
3楼2014-01-23 14:15:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
PCVD和PECVD之间就是等离子体能量密度的差别吧。
4楼2014-01-23 19:33:54
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zzkejing

禁虫 (正式写手)


Angusskanal: 金币+1, 有帮助 2014-06-25 06:39:57
本帖内容被屏蔽

5楼2014-06-24 22:03:03
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安徽锐达微波

银虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wgl2003 at 2014-01-23 10:22:05
原理上都一样,都是等离子体进行的反应,如果按等离子浓度来分,
PCVD&lt;PECVD &lt;HDP CVD 高密度等离子体化学气相淀积
相应的CVD设备设计的时候,等离子体密度越高对设备额要求越高,裂解气体需要的能 ...

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6楼2018-04-12 06:44:20
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