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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] Agilent 4294a 如何测试薄膜介电性能已有2人参与

请教一下大家:我的样品是长在Si/SiO2/Ti/Pt基片上的铁电薄膜,
实验室已经有了一台Agilent 4294a,但似乎还只能测陶瓷片,
请问还需要哪些配件才能测试薄膜的介电性能。麻烦说具体一点。
请赐教,非常感谢!
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longjfk

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

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FLYFWY: 金币+5, 非常感谢! 2014-04-17 10:03:00
16451B 夹具。 但是貌似很贵  几万块了。
其实可以自己设计个,然后找人加工,顶多花个1000块吧。
这家伙很懒,什么都没有留下
3楼2014-01-10 05:53:04
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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FLYFWY: 金币+4, 非常感谢! 2014-04-17 09:59:47
应该直接就可以测吧,你要测哪些性能?介电性能不就是测K么,然后再测测漏电什么的。对不?这些4294应该差不多都可以测。
哈哈哈哈,来吧
2楼2014-01-10 01:06:33
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
FLYFWY: 金币+5, 非常感谢! 2014-04-17 10:03:12
要有一个针台,薄膜上下要有电极,底电极是之前做好的,薄膜做好后有银引出来,上电极大家一般用模板喷金,然后就可以用针台测了
dream
4楼2014-01-10 07:35:11
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by longjfk at 2014-01-10 05:53:04
16451B 夹具。 但是貌似很贵  几万块了。
其实可以自己设计个,然后找人加工,顶多花个1000块吧。

16451B夹具要求把样品夹在中间吧,但我的膜是长在Si基片上的,夹在中间的话Si就和一端夹具接触了啊?测的应该就是Si+薄膜的介电性质了吧?
5楼2014-01-10 20:01:58
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