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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] Agilent 4294a 如何测试薄膜介电性能已有2人参与

请教一下大家:我的样品是长在Si/SiO2/Ti/Pt基片上的铁电薄膜,
实验室已经有了一台Agilent 4294a,但似乎还只能测陶瓷片,
请问还需要哪些配件才能测试薄膜的介电性能。麻烦说具体一点。
请赐教,非常感谢!
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
FLYFWY: 金币+4, 非常感谢! 2014-04-17 09:59:47
应该直接就可以测吧,你要测哪些性能?介电性能不就是测K么,然后再测测漏电什么的。对不?这些4294应该差不多都可以测。
哈哈哈哈,来吧
2楼2014-01-10 01:06:33
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