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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » Agilent 4294a 如何测试薄膜介电性能
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] Agilent 4294a 如何测试薄膜介电性能已有2人参与

请教一下大家：我的样品是长在Si/SiO2/Ti/Pt基片上的铁电薄膜，
实验室已经有了一台Agilent 4294a，但似乎还只能测陶瓷片，
请问还需要哪些配件才能测试薄膜的介电性能。麻烦说具体一点。
请赐教，非常感谢！
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1楼2014-01-09 18:07:03
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
FLYFWY: 金币+4, 非常感谢！ 2014-04-17 09:59:47
应该直接就可以测吧，你要测哪些性能？介电性能不就是测K么，然后再测测漏电什么的。对不？这些4294应该差不多都可以测。
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哈哈哈哈，来吧
2楼2014-01-10 01:06:33
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longjfk

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
FLYFWY: 金币+5, 非常感谢！ 2014-04-17 10:03:00
16451B 夹具。 但是貌似很贵  几万块了。
其实可以自己设计个，然后找人加工，顶多花个1000块吧。
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这家伙很懒，什么都没有留下
3楼2014-01-10 05:53:04
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
FLYFWY: 金币+5, 非常感谢！ 2014-04-17 10:03:12
要有一个针台，薄膜上下要有电极，底电极是之前做好的，薄膜做好后有银引出来，上电极大家一般用模板喷金，然后就可以用针台测了
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dream
4楼2014-01-10 07:35:11
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by longjfk at 2014-01-10 05:53:04
16451B 夹具。 但是貌似很贵  几万块了。
其实可以自己设计个，然后找人加工，顶多花个1000块吧。

16451B夹具要求把样品夹在中间吧，但我的膜是长在Si基片上的，夹在中间的话Si就和一端夹具接触了啊？测的应该就是Si+薄膜的介电性质了吧？
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5楼2014-01-10 20:01:58
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by mingxu at 2014-01-10 07:35:11
要有一个针台，薄膜上下要有电极，底电极是之前做好的，薄膜做好后有银引出来，上电极大家一般用模板喷金，然后就可以用针台测了

感谢回答！
1.请问下电极怎么用银引出来啊？我以前引下电极是在镀膜时用一块小硅片挡住，镀完了
膜把小硅片揭开，底电极就露了一点出来
2.能否给个针台和喷金装置的具体型号，我好详细查一查
谢谢！
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6楼2014-01-10 20:06:42
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by FLYFWY at 2014-01-10 20:06:42
感谢回答！
1.请问下电极怎么用银引出来啊？我以前引下电极是在镀膜时用一块小硅片挡住，镀完了
膜把小硅片揭开，底电极就露了一点出来
2.能否给个针台和喷金装置的具体型号，我好详细查一查
谢谢！...

顶电极不用引，直接用针扎上就可以了，要声明的是顶点极是用模板喷的金或铂，型号我忘了，抱歉
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dream
7楼2014-01-12 15:39:35
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keyst

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你是哪个学校的？4294A测介电采用的是平行电容法，需要在材料的两面涂上电极，模拟一个电容，然后测试电容值，通过电容与介电常数之间的公式关系计算介电常数。所以关键是要形成一个理想电容。你的两个电极是在同一个面上么？
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8楼2014-04-03 23:12:07
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by keyst at 2014-04-03 23:12:07
你是哪个学校的？4294A测介电采用的是平行电容法，需要在材料的两面涂上电极，模拟一个电容，然后测试电容值，通过电容与介电常数之间的公式关系计算介电常数。所以关键是要形成一个理想电容。你的两个电极是在同一 ...

我的薄膜是长在镀有Pt底电极的基片上，薄膜上表面再镀上电极
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9楼2014-04-09 20:40:41
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by mingxu at 2014-01-12 15:39:35
顶电极不用引，直接用针扎上就可以了，要声明的是顶点极是用模板喷的金或铂，型号我忘了，抱歉...

请问您那里用的也是hp4294a吗？我的膜介电常数大概在200~300，膜厚1~2 um，电极应该没问题，这样的膜用hp4294a能测介电性能吗？
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10楼2014-04-17 10:07:04
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