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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] Agilent 4294a 如何测试薄膜介电性能已有2人参与

请教一下大家:我的样品是长在Si/SiO2/Ti/Pt基片上的铁电薄膜,
实验室已经有了一台Agilent 4294a,但似乎还只能测陶瓷片,
请问还需要哪些配件才能测试薄膜的介电性能。麻烦说具体一点。
请赐教,非常感谢!
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
FLYFWY: 金币+5, 非常感谢! 2014-04-17 10:03:12
要有一个针台,薄膜上下要有电极,底电极是之前做好的,薄膜做好后有银引出来,上电极大家一般用模板喷金,然后就可以用针台测了
dream
4楼2014-01-10 07:35:11
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by FLYFWY at 2014-01-10 20:06:42
感谢回答!
1.请问下电极怎么用银引出来啊?我以前引下电极是在镀膜时用一块小硅片挡住,镀完了
膜把小硅片揭开,底电极就露了一点出来
2.能否给个针台和喷金装置的具体型号,我好详细查一查
谢谢!...

顶电极不用引,直接用针扎上就可以了,要声明的是顶点极是用模板喷的金或铂,型号我忘了,抱歉
dream
7楼2014-01-12 15:39:35
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