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saiwing

金虫 (小有名气)

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[交流] PZT thin film 的EDS 测量

大家在测Pb：Zr：Ti的时候只选定这三种元素么？要不要选氧O啊，我发现在同一次测量的数据里面选O得出来的atomic%Pb:Zr:Ti = 110:57:46，而不选O的出来的atomic%Pb:Zr:Ti = 110:47:45，同一次测量不管选不选O，Pb:Zr:Ti 的比值不应该是一样的么？

另外substrate上面的Pt层貌似对Zr的含量测定有些影响，大家是怎么处理的呢？

另外同一个sample上，不同点测得的Pb:Zr:Ti 相差有点大，看论坛上有人说要测多点取平均，大家一般测几个地方？

机械硕士，毕业课题要搞PZT thin film，实验室完全没人懂材料方面的东西，也许这个问题很傻，大家见谅

金币不多，感激不尽

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1楼 2014-01-03 23:27:21

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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:

13楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-04 09:49:48
额，我也看到别人说EDS不能用来定量，要用xps。
但是我读到的很多paper上大家都是用的EDS，而且测出来的数据还都挺好的。。。
所以我觉得EDS测Pb Ti Zr这些比较重的元素应该还是可以的吧？...

能用算侥幸，不能用是正常，xps也只是半定量的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]