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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 压电铁电材料 » PZT thin film 的EDS 测量
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saiwing

金虫 (小有名气)

[交流] PZT thin film 的EDS 测量

大家在测Pb：Zr：Ti的时候只选定这三种元素么？要不要选氧O啊，我发现在同一次测量的数据里面选O得出来的atomic%Pb:Zr:Ti = 110:57:46，而不选O的出来的atomic%Pb:Zr:Ti = 110:47:45，同一次测量不管选不选O，Pb:Zr:Ti 的比值不应该是一样的么？

另外substrate上面的Pt层貌似对Zr的含量测定有些影响，大家是怎么处理的呢？

另外同一个sample上，不同点测得的Pb:Zr:Ti 相差有点大，看论坛上有人说要测多点取平均，大家一般测几个地方？

机械硕士，毕业课题要搞PZT thin film，实验室完全没人懂材料方面的东西，也许这个问题很傻，大家见谅
金币不多，感激不尽
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1楼 2014-01-03 23:27:21
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macaibin

禁虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
saiwing: 金币+10 2014-01-13 10:01:35
本帖内容被屏蔽
35楼2014-01-13 08:49:38
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普通回帖

kiss20085537

木虫之王 (文学泰斗)
★
saiwing(金币+4): 谢谢参与
帮顶

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2014-01-03 23:31:11
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
saiwing(金币+4): 谢谢参与
穿越千年: 欢迎积极交流 2014-01-04 09:36:20
EDS根本不能用来定量的，也就是说没办法告诉你确切的比例是多少，只能告诉你这里面这几种元素是不是存在
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8楼2014-01-04 00:40:46
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doublehaohao

至尊木虫 (文坛精英)
★
saiwing(金币+4): 谢谢参与
报道

[ 发自小木虫客户端 ]
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10楼2014-01-04 07:30:26
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-04 00:40:46
EDS根本不能用来定量的，也就是说没办法告诉你确切的比例是多少，只能告诉你这里面这几种元素是不是存在

额，我也看到别人说EDS不能用来定量，要用xps。
但是我读到的很多paper上大家都是用的EDS，而且测出来的数据还都挺好的。。。
所以我觉得EDS测Pb Ti Zr这些比较重的元素应该还是可以的吧？
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13楼2014-01-04 09:49:48
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
13楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-04 09:49:48
额，我也看到别人说EDS不能用来定量，要用xps。
但是我读到的很多paper上大家都是用的EDS，而且测出来的数据还都挺好的。。。
所以我觉得EDS测Pb Ti Zr这些比较重的元素应该还是可以的吧？...

能用算侥幸，不能用是正常，xps也只是半定量的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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14楼2014-01-04 10:04:51
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-04 10:04:51
能用算侥幸，不能用是正常，xps也只是半定量的
...

这么惨淡么？
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21楼2014-01-04 11:00:27
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wiseroy

木虫 (著名写手)
★
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半定量，基体肯定有影响
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25楼2014-01-07 11:50:50
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
25楼: Originally posted by wiseroy at 2014-01-07 11:50:50
半定量，基体肯定有影响

额，可不可以给点建议。。。一筹莫展中
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26楼2014-01-07 12:09:54
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wiseroy

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
26楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-07 12:09:54
额，可不可以给点建议。。。一筹莫展中...

先把你基体全成分和薄膜各层全成分找出来
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28楼2014-01-11 09:34:38
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
28楼: Originally posted by wiseroy at 2014-01-11 09:34:38
先把你基体全成分和薄膜各层全成分找出来...

基体各层的厚度和成分是已知的，然后呢？
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29楼2014-01-11 15:49:54
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wiseroy

木虫 (著名写手)
引用回帖:
29楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-11 15:49:54
基体各层的厚度和成分是已知的，然后呢？...

有没有重复的？
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30楼2014-01-11 19:40:49
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
30楼: Originally posted by wiseroy at 2014-01-11 19:40:49
有没有重复的？...

Si的底，然后一层300nm的SiO2， 再一层20nm的Ti，最上面是一层220nm的Pt。这就是substrate了。
我在上面渡PZT
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31楼2014-01-11 22:41:47
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wiseroy

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
31楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-11 22:41:47
Si的底，然后一层300nm的SiO2， 再一层20nm的Ti，最上面是一层220nm的Pt。这就是substrate了。
我在上面渡PZT...

两边都有ti，怎么区别？
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32楼2014-01-12 09:19:12
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
32楼: Originally posted by wiseroy at 2014-01-12 09:19:12
两边都有ti，怎么区别？...

20nm的Ti很薄，我通常忽略它
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33楼2014-01-12 12:25:16
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wiseroy

木虫 (著名写手)
引用回帖:
33楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-12 12:25:16
20nm的Ti很薄，我通常忽略它...

你确定能忽略？
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34楼2014-01-12 13:05:34
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
35楼: Originally posted by macaibin at 2014-01-13 08:49:38
楼主，1L说的是对的。EDS的精度目前最好的为5%，相差几个百分点很正常。如要定量主体元素用XPS（能定价态）和荧光光谱，微量元素用ICP。...

那我可不可以认为，多次测量取平均值是个可以采纳的方法。现在只有EDS比较好获取一点，其他的设备暂时还找不到
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36楼2014-01-13 10:02:49
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macaibin

禁虫 (著名写手)
★
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37楼2014-01-13 10:31:12
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xiejf3楼
2014-01-03 23:48   回复  
saiwing(金币+4): 谢谢参与
westlife9114楼
2014-01-03 23:57   回复  
saiwing(金币+4): 谢谢参与
huigoo5楼
2014-01-04 00:00   回复  
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ohcesc6楼
2014-01-04 00:20   回复  
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21
zhchzhsh20767楼
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haixiawu9楼
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userhung11楼
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qqidea12楼
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76503116215楼
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sszzpp16楼
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sjmr122117楼
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neu23418楼
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wlxiao19楼
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lzboy31520楼
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