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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 压电铁电材料 » PZT thin film 的EDS 测量
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saiwing

金虫 (小有名气)

[交流] PZT thin film 的EDS 测量

大家在测Pb：Zr：Ti的时候只选定这三种元素么？要不要选氧O啊，我发现在同一次测量的数据里面选O得出来的atomic%Pb:Zr:Ti = 110:57:46，而不选O的出来的atomic%Pb:Zr:Ti = 110:47:45，同一次测量不管选不选O，Pb:Zr:Ti 的比值不应该是一样的么？

另外substrate上面的Pt层貌似对Zr的含量测定有些影响，大家是怎么处理的呢？

另外同一个sample上，不同点测得的Pb:Zr:Ti 相差有点大，看论坛上有人说要测多点取平均，大家一般测几个地方？

机械硕士，毕业课题要搞PZT thin film，实验室完全没人懂材料方面的东西，也许这个问题很傻，大家见谅
金币不多，感激不尽
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1楼 2014-01-03 23:27:21
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
30楼: Originally posted by wiseroy at 2014-01-11 19:40:49
有没有重复的？...

Si的底，然后一层300nm的SiO2， 再一层20nm的Ti，最上面是一层220nm的Pt。这就是substrate了。
我在上面渡PZT
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31楼2014-01-11 22:41:47
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kiss20085537

木虫之王 (文学泰斗)
★
saiwing(金币+4): 谢谢参与
帮顶

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2014-01-03 23:31:11
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
saiwing(金币+4): 谢谢参与
穿越千年: 欢迎积极交流 2014-01-04 09:36:20
EDS根本不能用来定量的，也就是说没办法告诉你确切的比例是多少，只能告诉你这里面这几种元素是不是存在
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8楼2014-01-04 00:40:46
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doublehaohao

至尊木虫 (文坛精英)
★
saiwing(金币+4): 谢谢参与
报道

[ 发自小木虫客户端 ]
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10楼2014-01-04 07:30:26
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zhchzhsh20767楼
2014-01-04 00:27   回复  
saiwing(金币+4): 谢谢参与
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