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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 半导体-区分重掺杂硅
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liubingzbdx

新虫 (正式写手)

[求助] 半导体-区分重掺杂硅已有2人参与

我现在有两片重掺杂硅片：一片掺B的，一片掺P的，现在两片搞混了，各位大侠，有没有什么方法可以区别这两片硅片？在此谢谢各位
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1楼2013-12-30 22:02:25
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
liubingzbdx(tyhjqxbz代发): 金币+1, 感谢发帖交流 2014-01-02 08:28:27
热探针。。。扎一下就知道N、P型了
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是金子总会发光！！！
2楼2013-12-31 13:30:31
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liubingzbdx

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2013-12-31 13:30:31
热探针。。。扎一下就知道N、P型了

我们这边没有热探针，有没有什么其他的方法，或者热探针怎么扎？
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3楼2014-01-01 16:36:23
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员
引用回帖:
3楼: Originally posted by liubingzbdx at 2014-01-01 16:36:23
我们这边没有热探针，有没有什么其他的方法，或者热探针怎么扎？...

方法倒是很多，但是简单的办法还真不好找。
低温荧光（无损）、低温霍尔（需要制作电极）、低温红外（无损）。质谱（有损）都可以。。。但是可能不一定有条件测啊。。。热探针最简单了。。。微电子专业实验室肯定有、或者去开展大学物理实验的实验室看看
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是金子总会发光！！！
4楼2014-01-01 20:22:11
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢发帖交流 2014-01-02 08:28:36
liubingzbdx: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-01-02 16:34:05
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-02-25 23:41:24
想到一个方法可能可行。
把两块硅片叠在一起（用塑料夹子夹住），然后拿万用表的电极接触两块硅片（加的电压别太大，从10mv到几V都试一下），+—接触测一次电阻，-+接触测一次电阻。理想的话，测的电阻应该是两种情况，电阻很大和较小电阻。电阻很大的那次测试，对应的+极接触的硅片应该是N型的，-极接触的就是P型，即属于PN结反偏的情况。你试试看，有可能可以。
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是金子总会发光！！！
5楼2014-01-01 20:37:40
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jiaran0518

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-02-25 23:41:30
可以找一个电化学工作站做一个M-S曲线看看
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6楼2014-02-25 10:21:02
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