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ledlau木虫 (著名写手)
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样品表面清洗与干燥 已有11人参与
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平时实验的时候都是用的划片机切割成的15×15，或者10×10的小硅片 在表面进行一些列微工艺之后 用去离子水清洗 然后为了使样品干燥，采用N2吹干 但是实际上，特别是秋冬季节，感觉表面还是很湿润 而且当硅片表面有Cu层，为了防止氧化，不能放入干燥箱烘干 请问下 大家平时是怎么处理这种情况的啊 如样品要去拍SEM，样品有表面有水分的话，拍摄效果很不好 |
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