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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 样品表面清洗与干燥
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ledlau

木虫 (著名写手)

[交流] 样品表面清洗与干燥 已有11人参与

平时实验的时候都是用的划片机切割成的15×15，或者10×10的小硅片
在表面进行一些列微工艺之后
用去离子水清洗
然后为了使样品干燥，采用N2吹干

但是实际上，特别是秋冬季节，感觉表面还是很湿润
而且当硅片表面有Cu层，为了防止氧化，不能放入干燥箱烘干

请问下 大家平时是怎么处理这种情况的啊
如样品要去拍SEM，样品有表面有水分的话，拍摄效果很不好
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1楼 2013-12-26 22:04:31
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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真空箱保存，测试前再拿出来，有水的话抽气速度会降低的，画面没啥影响，都是高真空环境，冷冻干燥这个有点搞啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2013-12-27 15:30:21
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huyudong1991

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有真空腔的话可以在真空腔里放一放

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2013-12-27 00:36:46
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用干燥过的氮气吹干后放入干燥箱中保存。使用时取出，用完后再次吹干放入保存。
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3楼2013-12-27 08:02:50
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眼镜片1

银虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
最简单的办法  先在样品表面喷上酒精 然后用氮气吹干  这样会把水分除得非常干净
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4楼2013-12-27 13:03:44
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