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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 金属钨 W 用什么腐蚀液腐蚀 已有2人参与

我在硅表面有几十到100nm的W 钨金属,想用光刻胶做掩膜图形化腐蚀W,不知道什么腐蚀液可以呢? 王水估计光刻胶会掉的。加热的双氧水也试过了,不太行额。。。
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奋斗。。。
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guojiahu

禁虫 (知名作家)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
月下冰魂: 金币+7, 有帮助 2014-01-23 15:37:57
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2楼2013-12-26 09:31:26
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xueqj

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
月下冰魂: 金币+8, 有帮助, 谢谢。我最后还是用的用双氧水哈。 2014-01-23 15:37:51
试试加热次氯酸钠溶液至90摄氏度。浓度高点速度快
3楼2014-01-23 10:53:48
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