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月下冰魂

木虫 (正式写手)

应助: 49 (小学生)
金币: 3111.7
散金: 113
红花: 19
帖子: 444
在线: 158.4小时
虫号: 1191993
注册: 2011-01-18
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 金属钨 W 用什么腐蚀液腐蚀已有2人参与

我在硅表面有几十到100nm的W 钨金属，想用光刻胶做掩膜图形化腐蚀W，不知道什么腐蚀液可以呢？王水估计光刻胶会掉的。加热的双氧水也试过了，不太行额。。。

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奋斗。。。

1楼 2013-12-26 08:36:54

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xueqj

木虫 (正式写手)

应助: 16 (小学生)
金币: 7020.5
红花: 3
帖子: 621
在线: 69.3小时
虫号: 714487
注册: 2009-03-04
性别: GG
专业: 金属材料的凝固与结晶学

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
月下冰魂: 金币+8, ★有帮助, 谢谢。我最后还是用的用双氧水哈。 2014-01-23 15:37:51

试试加热次氯酸钠溶液至90摄氏度。浓度高点速度快

3楼2014-01-23 10:53:48

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 3 个回答

guojiahu

禁虫 (知名作家)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月下冰魂: 金币+7, ★有帮助 2014-01-23 15:37:57

本帖内容被屏蔽

2楼2013-12-26 09:31:26

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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