应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » HMDS 在硅表面蒸涂后，PMMA旋涂，可用NaOH刻蚀吗？
51/1返回列表
查看: 1675  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

liailong

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] HMDS 在硅表面蒸涂后，PMMA旋涂，可用NaOH刻蚀吗？

HMDS 在硅表面蒸涂后，PMMA旋涂，可用NaOH刻蚀吗？HMDS貌似在碱中不稳定。

[ Last edited by supernatural on 2013-12-18 at 15:53 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
自强不息，厚德载物！
1楼 2013-12-18 15:48:13
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liailong: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2013-12-23 20:23:16
引用回帖:
5楼: Originally posted by liailong at 2013-12-19 19:52:37
HMDS的处理工艺是怎么样呢
我是指Prime时间，蒸涂时间，以及操作温度。...

200度，真空烘箱，10分钟以上。简单的就是，找个金属饭盒，片子放里面，旁边滴几滴HMDS，盖上盖子，放入烘箱，密闭，升温致200度，到时间取出，取出前抽反复抽两次真空。
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2013-12-23 13:30:26
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liailong: 金币+20, ★★★很有帮助 2013-12-19 19:50:39
PMMA同样抗不住碱。
建议用干法刻蚀，虽然PMMA抗干刻能力也不太好。如果需要刻蚀比较深，可以换别的光刻胶，比如ZEP520。
你是要做电子束光刻是吗？
赞一下 回复此楼
2楼2013-12-19 16:38:23
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liailong: 金币+5, ZEP520怎么卖的？抗碱吗？ PMMA比较好买。 还没打算做呢，最近在做一些调研。 2013-12-19 19:51:07
楼上果然比较专业，同解
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-12-19 17:55:54
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liailong

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-19 16:38:23
PMMA同样抗不住碱。
建议用干法刻蚀，虽然PMMA抗干刻能力也不太好。如果需要刻蚀比较深，可以换别的光刻胶，比如ZEP520。
你是要做电子束光刻是吗？

ZEP520怎么卖的？抗碱吗？
PMMA比较好买。
还没打算做呢，最近在做一些调研。
赞一下 回复此楼
自强不息，厚德载物！
4楼2013-12-19 19:49:27
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料科学与工程 317求调剂 +4 JKSOIID 2026-03-26 4/200 2026-03-26 15:58 by 不吃魚的貓
[考研] 总分293求调剂 +6 加一一九 2026-03-25 8/400 2026-03-26 13:30 by yujianx
[考研] 调剂310 +3 温柔的晚安 2026-03-25 4/200 2026-03-25 23:16 by peike
[考研] 308求调剂 +5 墨墨漠 2026-03-25 5/250 2026-03-25 22:19 by 544594351
[考研] 302求调剂 +4 锦衣卫藤椒 2026-03-25 4/200 2026-03-25 16:29 by 功夫疯狂
[考研] 07化学280分求调剂 +7 722865 2026-03-23 7/350 2026-03-25 09:29 by aa331100
[考研] 289材料与化工（085600）B区求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-22 5/250 2026-03-25 08:20 by mx.yue
[考研] 生物学学硕求调剂 +7 小羊睡着了? 2026-03-23 10/500 2026-03-25 02:24 by 清风拂扬。 m
[考研] 300分，材料，求调剂，英一数二 +5 超赞的 2026-03-24 5/250 2026-03-24 21:07 by 星空星月
[考研] 070300化学求调剂 +9 苑豆豆 2026-03-20 9/450 2026-03-24 17:15 by licg0208
[考研] 材料考研调剂生 +3 黄粱一梦千年 2026-03-24 3/150 2026-03-24 17:00 by barlinike
[考研] 【双一流院校新能源、环境材料，材料加工与模拟招收大量调剂】 +4 Higraduate 2026-03-22 7/350 2026-03-24 11:23 by 种大树
[考研] 一志愿吉大化学322求调剂 +4 17501029541 2026-03-23 6/300 2026-03-24 10:21 by 戴围脖的小蚊子
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境，总分308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-23 8/400 2026-03-23 20:36 by Creta
[论文投稿] 急发核心期刊论文 +3 贤达问津 2026-03-23 5/250 2026-03-23 17:13 by 妹子不好惹
[考研] 求老师收我 +3 zzh16938784 2026-03-23 3/150 2026-03-23 12:56 by ztnimte
[考研] 319求调剂 +4 小力气珂珂 2026-03-20 4/200 2026-03-22 15:53 by ColorlessPI
[考研] 一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂 +5 vv迷 2026-03-21 8/400 2026-03-22 14:20 by ColorlessPI
[考研] 求调剂 +4 要好好无聊 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:57 by 学员8dgXkO
[考研] 求助 +5 梦里的无言 2026-03-21 6/300 2026-03-21 17:51 by 学员8dgXkO
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭