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liailong

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] HMDS 在硅表面蒸涂后,PMMA旋涂,可用NaOH刻蚀吗?

HMDS 在硅表面蒸涂后,PMMA旋涂,可用NaOH刻蚀吗?HMDS貌似在碱中不稳定。

[ Last edited by supernatural on 2013-12-18 at 15:53 ]
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自强不息,厚德载物!
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liailong: 金币+5, ZEP520怎么卖的?抗碱吗? PMMA比较好买。 还没打算做呢,最近在做一些调研。 2013-12-19 19:51:07
楼上果然比较专业,同解
3楼2013-12-19 17:55:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liailong: 金币+20, ★★★很有帮助 2013-12-19 19:50:39
PMMA同样抗不住碱。
建议用干法刻蚀,虽然PMMA抗干刻能力也不太好。如果需要刻蚀比较深,可以换别的光刻胶,比如ZEP520。
你是要做电子束光刻是吗?
2楼2013-12-19 16:38:23
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-19 16:38:23
PMMA同样抗不住碱。
建议用干法刻蚀,虽然PMMA抗干刻能力也不太好。如果需要刻蚀比较深,可以换别的光刻胶,比如ZEP520。
你是要做电子束光刻是吗?

ZEP520怎么卖的?抗碱吗?
PMMA比较好买。
还没打算做呢,最近在做一些调研。
自强不息,厚德载物!
4楼2013-12-19 19:49:27
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by quanten at 2013-12-19 17:55:54
楼上果然比较专业,同解

HMDS的处理工艺是怎么样呢
我是指Prime时间,蒸涂时间,以及操作温度。
自强不息,厚德载物!
5楼2013-12-19 19:52:37
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