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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » HMDS 在硅表面蒸涂后，PMMA旋涂，可用NaOH刻蚀吗？
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] HMDS 在硅表面蒸涂后，PMMA旋涂，可用NaOH刻蚀吗？

HMDS 在硅表面蒸涂后，PMMA旋涂，可用NaOH刻蚀吗？HMDS貌似在碱中不稳定。

[ Last edited by supernatural on 2013-12-18 at 15:53 ]
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自强不息，厚德载物！
1楼 2013-12-18 15:48:13
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liailong: 金币+20, ★★★很有帮助 2013-12-19 19:50:39
PMMA同样抗不住碱。
建议用干法刻蚀，虽然PMMA抗干刻能力也不太好。如果需要刻蚀比较深，可以换别的光刻胶，比如ZEP520。
你是要做电子束光刻是吗？
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2楼2013-12-19 16:38:23
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liailong: 金币+5, ZEP520怎么卖的？抗碱吗？ PMMA比较好买。 还没打算做呢，最近在做一些调研。 2013-12-19 19:51:07
楼上果然比较专业，同解
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3楼2013-12-19 17:55:54
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-19 16:38:23
PMMA同样抗不住碱。
建议用干法刻蚀，虽然PMMA抗干刻能力也不太好。如果需要刻蚀比较深，可以换别的光刻胶，比如ZEP520。
你是要做电子束光刻是吗？

ZEP520怎么卖的？抗碱吗？
PMMA比较好买。
还没打算做呢，最近在做一些调研。
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自强不息，厚德载物！
4楼2013-12-19 19:49:27
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by quanten at 2013-12-19 17:55:54
楼上果然比较专业，同解

HMDS的处理工艺是怎么样呢
我是指Prime时间，蒸涂时间，以及操作温度。
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自强不息，厚德载物！
5楼2013-12-19 19:52:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by liailong at 2013-12-19 19:49:27
ZEP520怎么卖的？抗碱吗？
PMMA比较好买。
还没打算做呢，最近在做一些调研。...

几乎就没有抗碱的光刻胶，电子束光刻胶是肯定没有的了。
ZEP520很贵的，比PMMA贵多了。
用干法刻蚀是唯一方案。
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6楼2013-12-23 13:28:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liailong: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2013-12-23 20:23:16
引用回帖:
5楼: Originally posted by liailong at 2013-12-19 19:52:37
HMDS的处理工艺是怎么样呢
我是指Prime时间，蒸涂时间，以及操作温度。...

200度，真空烘箱，10分钟以上。简单的就是，找个金属饭盒，片子放里面，旁边滴几滴HMDS，盖上盖子，放入烘箱，密闭，升温致200度，到时间取出，取出前抽反复抽两次真空。
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7楼2013-12-23 13:30:26
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
引用回帖:
5楼: Originally posted by liailong at 2013-12-19 19:52:37
HMDS的处理工艺是怎么样呢
我是指Prime时间，蒸涂时间，以及操作温度。...

可旋涂然后高温蒸发，看论文，有问题请教yswyx，他比较专业
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8楼2013-12-27 05:56:39
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