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HMDS 在硅表面蒸涂后，PMMA旋涂，可用NaOH刻蚀吗？
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HMDS 在硅表面蒸涂后，PMMA旋涂，可用NaOH刻蚀吗？HMDS貌似在碱中不稳定。 [ Last edited by supernatural on 2013-12-18 at 15:53 ] |
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yswyx 
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4楼2013-12-19 19:49:27
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6楼2013-12-23 13:28:25
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7楼2013-12-23 13:30:26
quanten
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8楼2013-12-27 05:56:39
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