| 查看: 789 | 回复: 1 | ||||
su736808421木虫 (小有名气)
|
[交流]
中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀
|
|
简要介绍 硅靶反应磁控溅射SiO2薄膜工艺具有沉积速率高、膜层质量好、设备简单和运行成本低等优点,已经在生产中得到应用。成品ITO玻璃是在原片玻璃上镀制SiO2和ITO两层膜。ITO透明导电玻璃生产中,普遍应用ITO陶瓷靶直流溅射工艺沉积ITO膜,如果SiO2 膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,人们会提出,在ITO透明导电玻璃生产线上,这两种工艺是否可以在线联用以及如何实现联用的问题。本文作者在开发成功硅靶中频反应磁控溅射SiO2工艺后,通过设备改造和实验研究解决了这些问题。在线实现SiO2和ITO膜联镀,关键是SiO2的制备工艺不是孤立地镀制SiO2膜,而应该把SiO2膜作为ITO玻璃中的一部分,把SiO2工艺作为整个ITO玻璃工艺的一部分。因此要研究增加SiO2镀膜工序对ITO工艺的影响,研究SiO2膜和ITO膜在同一生产线中连续镀膜对ITO玻璃整体性能的影响。 [ Last edited by su736808421 on 2013-12-14 at 17:56 ] |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 中频反应溅射SiO_2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀_许生.caj
2013-12-12 11:58:21, 93.35 K
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 猜你喜欢
0856材料306分调剂
已经有4人回复
-
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有19人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有270人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 在PMMA上溅射的ITO薄膜求助
已经有10人回复
- 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
已经有15人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
0.8
| 顶一下，感谢分享！ |
2楼2013-12-12 12:56:53
