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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 只充氩气的话可以镀膜，加一点儿氮气就镀不上是怎么回事？
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hyx8902

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 只充氩气的话可以镀膜，加一点儿氮气就镀不上是怎么回事？ 已有3人参与

金属靶镀膜，充氩气的话可以镀膜，起辉正常，但是加一点儿氮气就镀不上是怎么回事？功率已经加到160W，再加怕把靶烧坏了！求大神帮忙！
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1楼 2013-12-03 22:19:25
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669829liu

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by hyx8902 at 2013-12-06 10:07:21
但我的就是不行，也怪了，原来都可以镀上，现在还是原来的参数但就是不行，我又换了一下其他的参数，但只要有氮气就不行！...

哦，这个我也不太清楚，我还没掺过氮气，但很多文献掺氮可以起辉的，氮分量经验值好像是百分之四，你加大氩气流量试试

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软磁性薄膜
8楼2013-12-06 12:20:24
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mjx150

荣誉版主 (正式写手)
穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:10
氮气不是惰性气体，会有反应的
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Theworstsituationbroughtoutthebestofyou.
2楼2013-12-04 16:34:30
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669829liu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:15
应该能镀上呀，只不过是含氮的薄膜而已

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软磁性薄膜
3楼2013-12-05 00:07:39
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)
穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:20
什么靶啊？会不会功率有些小啊？
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我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你，说明我很在乎你。如果我不能主动联系你，那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
4楼2013-12-05 02:34:12
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