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hyx8902

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 只充氩气的话可以镀膜,加一点儿氮气就镀不上是怎么回事? 已有3人参与

金属靶镀膜,充氩气的话可以镀膜,起辉正常,但是加一点儿氮气就镀不上是怎么回事?功率已经加到160W,再加怕把靶烧坏了!求大神帮忙!
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669829liu

银虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by hyx8902 at 2013-12-06 10:07:21
但我的就是不行,也怪了,原来都可以镀上,现在还是原来的参数但就是不行,我又换了一下其他的参数,但只要有氮气就不行!...

哦,这个我也不太清楚,我还没掺过氮气,但很多文献掺氮可以起辉的,氮分量经验值好像是百分之四,你加大氩气流量试试

[ 发自小木虫客户端 ]
软磁性薄膜
8楼2013-12-06 12:20:24
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查看全部 19 个回答

mjx150

荣誉版主 (正式写手)

穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:10
氮气不是惰性气体,会有反应的
Theworstsituationbroughtoutthebestofyou.
2楼2013-12-04 16:34:30
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669829liu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:15
应该能镀上呀,只不过是含氮的薄膜而已

[ 发自小木虫客户端 ]
软磁性薄膜
3楼2013-12-05 00:07:39
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)

穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:20
什么靶啊?会不会功率有些小啊?
我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你,说明我很在乎你。如果我不能主动联系你,那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
4楼2013-12-05 02:34:12
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