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hyx8902

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 只充氩气的话可以镀膜,加一点儿氮气就镀不上是怎么回事?已有3人参与

金属靶镀膜,充氩气的话可以镀膜,起辉正常,但是加一点儿氮气就镀不上是怎么回事?功率已经加到160W,再加怕把靶烧坏了!求大神帮忙!
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

估计是氮气和靶材发生了反应生成了氮化物,而该氮化物和镀膜材料(玻璃)的润湿性能不好所致。
11楼2013-12-08 00:24:59
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