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非晶合金薄膜应力释放需要的退火时间
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专业: 金属材料表面科学与工程
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非晶合金薄膜应力释放需要的退火时间
对于磁控溅射的非晶薄膜,退火多长时间可以保证制备过程中产生的残余应力可以完全释放?
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2013-11-30 22:09:36
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2013-12-05 09:06:57
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