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SiC材料ICP刻蚀 怎么提高表面粗糙度！！！
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| 用ICP刻蚀SiC片，使用SF6气体 氧气 用什么参数合适。 |
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4楼2013-12-16 16:50:13
yehanwin
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3楼2013-12-10 14:05:09
