24小时热门版块排行榜    

查看: 947  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

虎将陕西

新虫 (初入文坛)

[求助] SiC材料ICP刻蚀 怎么提高表面粗糙度!!!

用ICP刻蚀SiC片,使用SF6气体 氧气 用什么参数合适。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yymmwl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

提高刻蚀表面粗糙度,就是增强物理机制,所以加大icp源功率或者增加偏压,从而增加等离子密度,可以实现你的要求

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
你若潇洒,谁能缚你?
3楼2013-12-10 14:05:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 虎将陕西 的主题更新
信息提示
请填处理意见