应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » SiC材料ICP刻蚀 怎么提高表面粗糙度！！！
51/1返回列表
查看: 1013  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

虎将陕西

新虫 (初入文坛)

[求助] SiC材料ICP刻蚀 怎么提高表面粗糙度！！！

用ICP刻蚀SiC片，使用SF6气体 氧气 用什么参数合适。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-11-26 20:48:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yymmwl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

提高刻蚀表面粗糙度，就是增强物理机制，所以加大icp源功率或者增加偏压，从而增加等离子密度，可以实现你的要求

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
你若潇洒，谁能缚你？
3楼2013-12-10 14:05:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

yehanwin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
别人都要求刻蚀后表面粗糙度低，为啥要提高粗糙度啊？个人认为这个太容易了，只要提高压强很容易做到。具体的没试验参数。
赞一下 回复此楼
升级为木虫，纪念下！
2楼2013-11-26 23:23:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

虎将陕西

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yehanwin at 2013-11-26 23:23:17
别人都要求刻蚀后表面粗糙度低，为啥要提高粗糙度啊？个人认为这个太容易了，只要提高压强很容易做到。具体的没试验参数。

着急发错了 确实要降低粗糙度 会不会功率小点 刻蚀速率慢点粗糙度会好些

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2013-12-16 16:50:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿211，化学310分，本科重点双非，求调剂 +16 努力奋斗112 2026-04-08 16/800 2026-04-10 11:24 by allen-yin
[考研] 一志愿211 0703化学 346分求调剂 +22 土豆er? 2026-04-09 23/1150 2026-04-10 10:58 by 高维春
[考研] 342电子信息专硕求调剂 +6 你让我怎么荔枝 2026-04-10 7/350 2026-04-10 10:18 by 314126402
[考研] 一志愿 江南大学 085602 化工专硕 338分求调剂 +16 路痴小琪 2026-04-05 16/800 2026-04-10 08:08 by kangsm
[考研] 一志愿东北大学控制工程085406数二英二385，求调剂 +5 Ezra_Zhang 2026-04-09 5/250 2026-04-10 08:06 by 1753564080
[考研] 305求调剂 +4 77Qi 2026-04-07 4/200 2026-04-09 17:27 by wp06
[考研] 085600材料与化工专硕329 求调剂 +24 额cc 2026-04-06 25/1250 2026-04-09 16:01 by wp06
[考研] 265求调剂 +4 风说她早忘了 2026-04-07 4/200 2026-04-09 13:59 by only周
[考研] 331求调剂 +5 张元一 2026-04-07 6/300 2026-04-07 22:13 by hemengdong
[考研] 生物调剂 +5 橙子橙子橙子啊 2026-04-05 9/450 2026-04-07 15:31 by 上岸快快
[考研] 080500求调剂 +12 黄宇博 2026-04-06 12/600 2026-04-07 12:41 by upczlm1989
[考研] 软工学硕299求调剂 +6 useryy 2026-04-07 6/300 2026-04-07 09:50 by vgtyfty
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358求调剂 +10 cs0106 2026-04-05 12/600 2026-04-06 19:41 by 无际的草原
[考研] 0857大类环境工程B区求调剂 +3 龚禹铭 2026-04-05 3/150 2026-04-06 10:22 by 蓝云思雨
[考研] 复试调剂 +5 asdasdassda 2026-04-05 5/250 2026-04-06 09:32 by dongzh2009
[考研] 求调剂到0856材料工程 +3 程9915 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:15 by 蓝云思雨
[考研] 268求调剂 +8 你好tg 2026-04-03 9/450 2026-04-04 05:08 by gswylq
[考研] 305求调剂 +3 77Qi 2026-04-03 3/150 2026-04-03 23:01 by qzxyhcsy
[考研] 数二英二348求调剂 +4 hxdzj1 2026-04-03 5/250 2026-04-03 21:25 by zhq0425
[考研] 学硕288调剂!!! +3 小王xw123 2026-04-03 3/150 2026-04-03 21:20 by 啵啵啵0119
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭