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chenmeng_413

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺 已有2人参与

请教各位大神，我现在在Si片上做光刻，胶是RZJ—304，具体参数如下：
匀胶：低500 高4000          前烘：100度  90s          曝光：8s          显影：90s          后烘：120度  2min
可效果并不怎么理想，不知哪些参数需要改动？
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1楼 2013-11-21 20:56:08
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by chonglc at 2013-12-01 21:03:05
你好，请问，甩胶后残留的光刻胶厚度与倒胶的量有关系吗？...

如果都是完全涂覆的状态，没有关系。
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10楼2013-12-02 12:02:40
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普通回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 应助指数-1 2013-12-01 21:07:30
神啊，赐予我力量吧！让我穿越到楼主的显微镜前，帮他解决问题吧！
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2楼2013-11-22 11:53:34
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 12:53:34
神啊，赐予我力量吧！让我穿越到楼主的显微镜前，帮他解决问题吧！

此楼非常了解光刻么?
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3楼2013-11-22 16:53:47
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-22 16:53:47
此楼非常了解光刻么?...

如果楼主提供足够信息的话
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4楼2013-11-22 17:41:01
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
mjx150: 又见大神，膜拜。。。 2014-03-13 11:19:14
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 18:41:01
如果楼主提供足够信息的话...

你是做什么材料的啊？
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5楼2013-11-22 20:07:25
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lwb870525

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 鼓励交流 2013-12-02 09:08:25
我觉得你是不是对这种胶好好了解下呢，对胶的特点熟悉了，光刻应该就好搞些
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人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
6楼2013-11-24 20:10:35
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kingkongking

版主 (知名作家)

酒逢知己千杯少

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 欢迎积极应助 2013-11-25 12:16:54
我也觉得是，对胶好好了解下。仔细看下这个胶的说明书。我个人觉得胶如果确定了的话，工艺应该都是比较成熟的。
赞一下 回复此楼
生活就是这么精彩，这么刺激~··
7楼2013-11-24 20:16:29
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫
问的不明白
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千里之行始于足下
8楼2013-11-25 22:08:14
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chonglc

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 11:53:34
神啊，赐予我力量吧！让我穿越到楼主的显微镜前，帮他解决问题吧！

你好，请问，甩胶后残留的光刻胶厚度与倒胶的量有关系吗？
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9楼2013-12-01 21:03:05
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