应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 光刻工艺
191/2返回列表12下一页
查看: 1857  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

chenmeng_413

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺 已有2人参与

请教各位大神，我现在在Si片上做光刻，胶是RZJ—304，具体参数如下：
匀胶：低500 高4000          前烘：100度  90s          曝光：8s          显影：90s          后烘：120度  2min
可效果并不怎么理想，不知哪些参数需要改动？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

化工资料

» 猜你喜欢
1楼 2013-11-21 20:56:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by chonglc at 2013-12-01 21:03:05
你好，请问，甩胶后残留的光刻胶厚度与倒胶的量有关系吗？...

如果都是完全涂覆的状态，没有关系。
赞一下(1人) 回复此楼
10楼2013-12-02 12:02:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 应助指数-1 2013-12-01 21:07:30
神啊，赐予我力量吧！让我穿越到楼主的显微镜前，帮他解决问题吧！
赞一下 回复此楼
2楼2013-11-22 11:53:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 12:53:34
神啊，赐予我力量吧！让我穿越到楼主的显微镜前，帮他解决问题吧！

此楼非常了解光刻么?
赞一下 回复此楼
3楼2013-11-22 16:53:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-22 16:53:47
此楼非常了解光刻么?...

如果楼主提供足够信息的话
赞一下 回复此楼
4楼2013-11-22 17:41:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
mjx150: 又见大神，膜拜。。。 2014-03-13 11:19:14
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 18:41:01
如果楼主提供足够信息的话...

你是做什么材料的啊？
赞一下 回复此楼
5楼2013-11-22 20:07:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lwb870525

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 鼓励交流 2013-12-02 09:08:25
我觉得你是不是对这种胶好好了解下呢，对胶的特点熟悉了，光刻应该就好搞些
赞一下 回复此楼
人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
6楼2013-11-24 20:10:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kingkongking

版主 (知名作家)

酒逢知己千杯少

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 欢迎积极应助 2013-11-25 12:16:54
我也觉得是，对胶好好了解下。仔细看下这个胶的说明书。我个人觉得胶如果确定了的话，工艺应该都是比较成熟的。
赞一下 回复此楼
生活就是这么精彩，这么刺激~··
7楼2013-11-24 20:16:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫
问的不明白
回复此楼
千里之行始于足下
8楼2013-11-25 22:08:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chonglc

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 11:53:34
神啊，赐予我力量吧！让我穿越到楼主的显微镜前，帮他解决问题吧！

你好，请问，甩胶后残留的光刻胶厚度与倒胶的量有关系吗？
赞一下 回复此楼
9楼2013-12-01 21:03:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chenmeng_413 的主题更新
191/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 面上提前没消息，有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 17/850 2026-08-04 09:46 by archvillain
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 f1dmPx051StA 2026-08-03 7/350 2026-08-04 09:31 by v1TJC4qJauAB
[博后之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 5/250 2026-08-04 09:27 by v1TJC4qJauAB
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 10/500 2026-08-04 09:26 by v1TJC4qJauAB
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 9/450 2026-08-04 09:17 by v1TJC4qJauAB
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 10/500 2026-08-04 09:15 by v1TJC4qJauAB
[有机交流] 一个有机合成实验室都需要哪些设备？ 50+3 kf2781974 2026-07-31 10/500 2026-08-04 08:05 by 88817753
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 9/450 2026-08-04 07:37 by k7OM8YghWbkC
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 13/650 2026-08-04 07:30 by k7OM8YghWbkC
[教师之家] 基础研究怎么拉横向，学校到款任务越来越多，难以完成 拉横向，都有哪些途径啊 +9 锦衣卫寒战 2026-07-28 13/650 2026-08-04 07:21 by Ermito
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 6/300 2026-08-04 06:10 by k7OM8YghWbkC
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 6/300 2026-08-04 04:47 by k7OM8YghWbkC
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 7/350 2026-08-04 04:46 by k7OM8YghWbkC
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 8/400 2026-08-04 03:21 by k7OM8YghWbkC
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
[高分子] UV压敏胶开发 +3 ichall 2026-07-30 5/250 2026-08-03 14:40 by Sunrisepay
[基金申请] 面上再次挂了，太难了，躺也躺不了，倦也卷不过，小学校之殇！ +19 低垂的野花 2026-07-31 25/1250 2026-08-03 09:25 by gy116024
[基金申请] 2026年国自然面上资助率 +16 布布和一二 2026-07-30 22/1100 2026-08-03 09:20 by gy116024
[考博] 2027年申博 50+3 射雕英雄胜 2026-07-30 3/150 2026-08-02 09:36 by lfy8008
[高分子] HXDI做水性聚氨酯乳液，是不是特别容易出渣 15+3 yuyusuv 2026-07-29 3/150 2026-07-31 09:21 by huizingga
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭