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maximus1214

银虫 (初入文坛)

[求助] EBL显影之后做了SEM发现问题

我在EBL（PMMA A4）显影之后，做了一下SEM，看了几个图形区域。结束之后发现一些图形区域中图形还存在，但是以图形为中心，出现一个矩形框把图形包围起来，矩形中的胶就像被刻蚀掉了一样，求大神解释一下，这是为什么？谢谢！
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1楼 2013-11-21 16:17:15
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fyl1989

金虫 (正式写手)
其实就是停留太久了，如果你停留再久点，当你移走SEM视场时，会发现原来视场左上角的位置已经被beam烧出一个点了，最好的方法就是做很多组重复图形，调好参数，显影后观察只用观察其中的一两组就够，如果所观察的都没问题，基本能够确定其他的图形也没什么大问题（就算有也是个别问题）。
还有，这个不是针对你显影不显影的问题，你显影完后PMMA在没被曝光的地方照样是大分子相互连接，当你观察图形时，beam照到这些地方，大分子还是断裂变成小分子，和你第一次曝光的过程是一样的。并且，我们有时为了看套刻是否准确，会在一层胶上连做两次曝光，两次显影，效果也不错，就是这个意思。希望对楼主有所帮助！
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14楼2014-01-17 13:52:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by maximus1214 at 2013-11-22 14:13:27
这个我知道，关键是我显过影了，而且就算是再被曝光了一次也不应该胶立马就没了啊
...

你是照的太久了吧。胶在SEM中电子的照射下会有强烈的收缩变形。
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5楼2013-11-22 15:38:05
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
maximus1214: 金币+5, ★★★很有帮助, 感謝 2013-11-24 00:51:57
带胶居然不喷金么。、。这电子束轰上去很容易碳化分解的，看不清楚，而且对极靴也有污染，不建议的
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7楼2013-11-22 17:35:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
maximus1214(supernatural代发): 金币+5, 楼主本想给5楼5金币，5楼既是3楼，因此代发金币5个 2013-11-24 09:24:15
SEM在观察的时候是发射电子的。矩形框就是你的片子再次被电子整片的轰击了一遍，矩形的范围就是SEM的视场。相当于再曝光了一次。
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3楼2013-11-22 11:43:14
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普通回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
上个图吧
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2楼2013-11-21 17:17:33
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maximus1214

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 11:43:14
SEM在观察的时候是发射电子的。矩形框就是你的片子再次被电子整片的轰击了一遍，矩形的范围就是SEM的视场。相当于再曝光了一次。

这个我知道，关键是我显过影了，而且就算是再被曝光了一次也不应该胶立马就没了啊

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4楼2013-11-22 14:13:27
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
被电子束打坏了，喷点金再看
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6楼2013-11-22 16:15:38
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maximus1214

银虫 (初入文坛)
我不知道為什麼只能送一次金幣，我本?硐虢o5樓和七樓各5個金幣的，但是不知道為什麼給了7樓就給不了5樓了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2013-11-24 00:54:28
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maximus1214

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 15:38:05
你是照的太久了吧。胶在SEM中电子的照射下会有强烈的收缩变形。...

我不知道為什麼只能送一次金幣，我本?硐虢o5樓和七樓各5個金幣的，但是不知道為什麼給了7樓就給不了5樓了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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9楼2013-11-24 00:55:09
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supernatural

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主
引用回帖:
8楼: Originally posted by maximus1214 at 2013-11-24 00:54:28
我不知道為什麼只能送一次金幣，我本?硐虢o5樓和七樓各5個金幣的，但是不知道為什麼給了7樓就給不了5樓了。

已经帮你代发金币，5楼的应助者既是3楼应助者，给3楼是一样的
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人生仿佛像一棵大树，需要风雨的洗礼才能茁壮成熟。
10楼2013-11-24 09:24:47
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