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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » EBL显影之后做了SEM发现问题
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maximus1214

银虫 (初入文坛)

[求助] EBL显影之后做了SEM发现问题

我在EBL（PMMA A4）显影之后，做了一下SEM，看了几个图形区域。结束之后发现一些图形区域中图形还存在，但是以图形为中心，出现一个矩形框把图形包围起来，矩形中的胶就像被刻蚀掉了一样，求大神解释一下，这是为什么？谢谢！
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1楼 2013-11-21 16:17:15
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maximus1214

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 15:38:05
你是照的太久了吧。胶在SEM中电子的照射下会有强烈的收缩变形。...

我不知道為什麼只能送一次金幣，我本?硐虢o5樓和七樓各5個金幣的，但是不知道為什麼給了7樓就給不了5樓了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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9楼2013-11-24 00:55:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
maximus1214(supernatural代发): 金币+5, 楼主本想给5楼5金币，5楼既是3楼，因此代发金币5个 2013-11-24 09:24:15
SEM在观察的时候是发射电子的。矩形框就是你的片子再次被电子整片的轰击了一遍，矩形的范围就是SEM的视场。相当于再曝光了一次。
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3楼2013-11-22 11:43:14
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maximus1214

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 11:43:14
SEM在观察的时候是发射电子的。矩形框就是你的片子再次被电子整片的轰击了一遍，矩形的范围就是SEM的视场。相当于再曝光了一次。

这个我知道，关键是我显过影了，而且就算是再被曝光了一次也不应该胶立马就没了啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2013-11-22 14:13:27
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by maximus1214 at 2013-11-22 14:13:27
这个我知道，关键是我显过影了，而且就算是再被曝光了一次也不应该胶立马就没了啊
...

你是照的太久了吧。胶在SEM中电子的照射下会有强烈的收缩变形。
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5楼2013-11-22 15:38:05
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