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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
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坚持
1楼2013-11-05 15:38:18
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minner__

金虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-07 18:32:48
妹子有这方面的书籍么？...

没有。。
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坚持
23楼2013-11-12 21:21:52
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minner__

金虫 (小有名气)
引用回帖:
22楼: Originally posted by xaver2010 at 2013-11-12 15:36:28
楼主问题搞定了吗？？换用脉冲电源是因为要抑制柱状晶生长吗？？我之之前溅射的金属因为柱状晶生长很明显，也打算改用脉冲电源呢。。

差不多算解决了。抑制柱状晶的话，可以添加一些其他组元。工艺也能影响形貌，你试下吧。
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坚持
25楼2013-11-12 21:34:46
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minner__

金虫 (小有名气)
引用回帖:
29楼: Originally posted by aaron5235 at 2014-09-02 13:10:48
是不是电压很低呢？你的靶材是什么形状的？多大呢

已解决，谢谢！
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坚持
30楼2014-09-06 20:13:42
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