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TEM截面的式样制备(求做成功的)
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| 我是做磁控溅射H13上做硬质薄膜的,我现在想做截面的TEM,但是制样比较困难,中间很容易断开,现在要重新制样,怎么做才能成功率大一点,关于制样的资料,我看了很多,聚焦离子束太贵,我们用不起。注:我制备了好多次了,磨到0.2mm的样子,胶就不起作用了,加铜环成功的概率大吗?用什么胶?环氧树脂?还有单晶硅是用来观察表面的,观察截面能不能用? |
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