| 查看: 1312 | 回复: 3 | ||||
[求助]
求教PLD制备薄膜方面的问题
|
|
最近在用PLD生长氧化物薄膜，新手遇到很多问题，长的真心纠结。按照文献中的条件来生长的，生长了一系列的样品，生长条件氧压、温度、靶间距都一样，激光能量也基本上一样，但是长出来的性质发现差别很大，重复性不好。都不知道该如何调整条件了。求教大神帮我分析分析原因。 由于多次生长之后激光已经把靶材的表面打的不平整了（购买的靶材，已有裂痕，取下来打磨平怕碎掉），现在激光打到靶材上打出来的羽辉有点歪斜，不知道是否对薄膜影响很大。 如何选择靶基间距，是不是基片和羽辉末端相切最好，和羽辉再靠近一点有什么样的影响，会变好还是变差。 不知道还有那些需要注意的因素呢，例如激光能量、频率等该如何选择？ 有相关的PLD制备薄膜工艺方面的文献扔几篇过来看看。   |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 猜你喜欢
请问哪里可以有青B申请的本子可以借鉴一下。
已经有4人回复
-
真诚求助：手里的省社科项目结项要求主持人一篇中文核心，有什么渠道能发核心吗
已经有6人回复
-
孩子确诊有中度注意力缺陷
已经有14人回复
-
三甲基碘化亚砜的氧化反应
已经有4人回复
-
请问下大家为什么这个铃木偶联几乎不反应呢
已经有5人回复
-
请问有评职称，把科研教学业绩算分排序的高校吗
已经有5人回复
-
2025冷门绝学什么时候出结果
已经有3人回复
-
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入
已经有4人回复
-
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生
已经有6人回复
-
AI论文写作工具：是科研加速器还是学术作弊器？
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
氟化镁薄膜制备
已经有3人回复- PLD镀膜估计膜厚
已经有4人回复
- 求教：声固耦合中薄膜的振动问题
已经有20人回复
- 请教如何利用PLD制备有机高分子薄膜
已经有6人回复
- 在SiO2上镀Ag作为电极,再镀BiFeO3薄膜,行得通吗？PLD
已经有10人回复
- 求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!!!!PLD
已经有6人回复
- PLD 脉冲激光沉积薄膜，入射石英玻璃有黑斑
已经有25人回复
- 【求助】请问谁有GROMOS96的学习材料
已经有3人回复
- 【讨论】靶材
已经有19人回复
phyzlc
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 33 (小学生)
- 金币: 6323.5
- 散金: 1185
- 红花: 5
- 帖子: 735
- 在线: 466.8小时
- 虫号: 687957
- 注册: 2009-01-05
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2013-10-28 08:39:49
看来要多摸索条件。但是我几乎相同条件下生长的薄膜性质为什么重复不出来呢，重复性差这一点让我很郁闷。3楼2013-10-28 09:39:39
4楼2013-12-16 10:03:06