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zhen2472

金虫 (初入文坛)

[交流] 有没有利用真空蒸镀在Si基体上制备Zn薄膜材料的?没做过的也可以进来看看。 已有3人参与

如题,如果有的话,我想问一下,我做的Zn的薄膜与Si基体或者玻璃基体的附着力特别差,这个问题应该怎么解决,我已经提高了基片温度了,貌似效果不是很明显。没做过的也可以根据自己的经验提供一下解决方法?用不用镀一层缓冲层或者什么措施的?
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zhen2472

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by lee0341 at 2013-10-22 17:40:40
硅片清洗有自己的一套清洗工艺,酒精丙酮只是第一步,lz搜下RCA清洗工艺吧,洗干净了要用HF漂洗,如果表面和水完全不润湿才算是洗干净
...

好吧,我查查,但是我用同样的方法制备Fe薄膜附着力挺好的,而且文献里边没有交代存在附着力的问题或者着重说明基片洗涤的方法。我现在怀疑是不是都存在这种附着力的问题,请问,你用同样的方法做过Zn薄膜吗?
7楼2013-10-23 10:01:35
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xuanfeng0521

银虫 (初入文坛)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道你的真空度够不够
2楼2013-10-21 22:51:19
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lee0341

铁杆木虫 (著名写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道你的衬底有没有洗干净

[ 发自小木虫客户端 ]
戒躁
3楼2013-10-22 06:21:51
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zhen2472

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xuanfeng0521 at 2013-10-21 22:51:19
不知道你的真空度够不够

我的真空度已经达到10-4pa了,应该不是这个方面的问题。
4楼2013-10-22 12:48:15
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