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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 有没有利用真空蒸镀在Si基体上制备Zn薄膜材料的？没做过的也可以进来看看。
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zhen2472

金虫 (初入文坛)

[交流] 有没有利用真空蒸镀在Si基体上制备Zn薄膜材料的？没做过的也可以进来看看。 已有3人参与

如题，如果有的话，我想问一下，我做的Zn的薄膜与Si基体或者玻璃基体的附着力特别差，这个问题应该怎么解决，我已经提高了基片温度了，貌似效果不是很明显。没做过的也可以根据自己的经验提供一下解决方法？用不用镀一层缓冲层或者什么措施的？
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1楼 2013-10-21 21:31:30
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lee0341

铁杆木虫 (著名写手)
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不知道你的衬底有没有洗干净

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戒躁
3楼2013-10-22 06:21:51
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lee0341

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5楼: Originally posted by zhen2472 at 2013-10-22 12:51:32
已经洗干净了，用丙酮、酒精各超声15分钟了。...

硅片清洗有自己的一套清洗工艺，酒精丙酮只是第一步，lz搜下RCA清洗工艺吧，洗干净了要用HF漂洗，如果表面和水完全不润湿才算是洗干净

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戒躁
6楼2013-10-22 17:40:40
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lee0341

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8楼: Originally posted by zhen2472 at 2013-10-23 10:06:02
对了，我还想请教一下，如果我的基片换做石英，它的清洗方法应该是怎么样的呢，我之前用的方法就和Si基体是一样的，只用丙酮和乙醇清洗。...

我没做过Zn但是最近会准备做。石英的话就按你说的就可以，只要最后洗到和水完全润湿就可以

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戒躁
9楼2013-10-23 18:20:27
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lee0341

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10楼: Originally posted by zhen2472 at 2013-10-24 09:29:37
好的，你要做的话，以后可以多交流，你也是用热蒸镀做？
...

我应该是用磁控溅射
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戒躁
11楼2013-10-24 10:05:19
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