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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 有没有利用真空蒸镀在Si基体上制备Zn薄膜材料的？没做过的也可以进来看看。
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zhen2472

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[交流] 有没有利用真空蒸镀在Si基体上制备Zn薄膜材料的？没做过的也可以进来看看。 已有3人参与

如题，如果有的话，我想问一下，我做的Zn的薄膜与Si基体或者玻璃基体的附着力特别差，这个问题应该怎么解决，我已经提高了基片温度了，貌似效果不是很明显。没做过的也可以根据自己的经验提供一下解决方法？用不用镀一层缓冲层或者什么措施的？
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1楼 2013-10-21 21:31:30
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xuanfeng0521

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
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不知道你的真空度够不够
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2楼2013-10-21 22:51:19
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lee0341

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
★
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不知道你的衬底有没有洗干净

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戒躁
3楼2013-10-22 06:21:51
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zhen2472

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
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2楼: Originally posted by xuanfeng0521 at 2013-10-21 22:51:19
不知道你的真空度够不够

我的真空度已经达到10-4pa了，应该不是这个方面的问题。
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4楼2013-10-22 12:48:15
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zhen2472

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
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3楼: Originally posted by lee0341 at 2013-10-22 06:21:51
不知道你的衬底有没有洗干净

已经洗干净了，用丙酮、酒精各超声15分钟了。
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5楼2013-10-22 12:51:32
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lee0341

超级版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
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5楼: Originally posted by zhen2472 at 2013-10-22 12:51:32
已经洗干净了，用丙酮、酒精各超声15分钟了。...

硅片清洗有自己的一套清洗工艺，酒精丙酮只是第一步，lz搜下RCA清洗工艺吧，洗干净了要用HF漂洗，如果表面和水完全不润湿才算是洗干净

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戒躁
6楼2013-10-22 17:40:40
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zhen2472

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
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6楼: Originally posted by lee0341 at 2013-10-22 17:40:40
硅片清洗有自己的一套清洗工艺，酒精丙酮只是第一步，lz搜下RCA清洗工艺吧，洗干净了要用HF漂洗，如果表面和水完全不润湿才算是洗干净
...

好吧，我查查，但是我用同样的方法制备Fe薄膜附着力挺好的，而且文献里边没有交代存在附着力的问题或者着重说明基片洗涤的方法。我现在怀疑是不是都存在这种附着力的问题，请问，你用同样的方法做过Zn薄膜吗？
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7楼2013-10-23 10:01:35
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zhen2472

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
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6楼: Originally posted by lee0341 at 2013-10-22 17:40:40
硅片清洗有自己的一套清洗工艺，酒精丙酮只是第一步，lz搜下RCA清洗工艺吧，洗干净了要用HF漂洗，如果表面和水完全不润湿才算是洗干净
...

对了，我还想请教一下，如果我的基片换做石英，它的清洗方法应该是怎么样的呢，我之前用的方法就和Si基体是一样的，只用丙酮和乙醇清洗。
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8楼2013-10-23 10:06:02
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lee0341

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
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8楼: Originally posted by zhen2472 at 2013-10-23 10:06:02
对了，我还想请教一下，如果我的基片换做石英，它的清洗方法应该是怎么样的呢，我之前用的方法就和Si基体是一样的，只用丙酮和乙醇清洗。...

我没做过Zn但是最近会准备做。石英的话就按你说的就可以，只要最后洗到和水完全润湿就可以

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戒躁
9楼2013-10-23 18:20:27
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zhen2472

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
9楼: Originally posted by lee0341 at 2013-10-23 18:20:27
我没做过Zn但是最近会准备做。石英的话就按你说的就可以，只要最后洗到和水完全润湿就可以
...

好的，你要做的话，以后可以多交流，你也是用热蒸镀做？

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10楼2013-10-24 09:29:37
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