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zhen2472

金虫 (初入文坛)

[交流] 有没有利用真空蒸镀在Si基体上制备Zn薄膜材料的?没做过的也可以进来看看。 已有3人参与

如题,如果有的话,我想问一下,我做的Zn的薄膜与Si基体或者玻璃基体的附着力特别差,这个问题应该怎么解决,我已经提高了基片温度了,貌似效果不是很明显。没做过的也可以根据自己的经验提供一下解决方法?用不用镀一层缓冲层或者什么措施的?
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lee0341

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by zhen2472 at 2013-10-22 12:51:32
已经洗干净了,用丙酮、酒精各超声15分钟了。...

硅片清洗有自己的一套清洗工艺,酒精丙酮只是第一步,lz搜下RCA清洗工艺吧,洗干净了要用HF漂洗,如果表面和水完全不润湿才算是洗干净

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戒躁
6楼2013-10-22 17:40:40
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xuanfeng0521

银虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道你的真空度够不够
2楼2013-10-21 22:51:19
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lee0341

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道你的衬底有没有洗干净

[ 发自小木虫客户端 ]
戒躁
3楼2013-10-22 06:21:51
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zhen2472

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xuanfeng0521 at 2013-10-21 22:51:19
不知道你的真空度够不够

我的真空度已经达到10-4pa了,应该不是这个方面的问题。
4楼2013-10-22 12:48:15
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