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硅微器件的键合封装
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银虫
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[交流]
硅微器件的键合封装
最近开始关注硅微器件的键合封装问题,想问大家有没有好的博士论文或其他参考文献以供参考,谢谢!
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静静一yi
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2013-10-21 10:08:43
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静静一yi
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送红花一朵
提供硅硅键合的硅片,玻璃片,键合机~~
苏州锐材~
小杨
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9楼
2013-10-21 21:53:06
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yswyx
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键合工艺还是器件结构?只关注气密特性吗?
wafer level packaging的资料太多了,google吧。
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释选
2楼
2013-10-21 13:08:15
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银虫
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2楼
:
Originally posted by
yswyx
at 2013-10-21 13:08:15
键合工艺还是器件结构?只关注气密特性吗?
wafer level packaging的资料太多了,google吧。
键合工艺,气密和低应力,能是低温的更好!
知道是有很多,但希望能够找到经典的几篇以供详读。不知您是否能提供一些,谢谢!
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3楼
2013-10-21 13:58:05
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yswyx
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释选: 金币+2, 好建议
2013-10-21 21:12:07
引用回帖:
3楼
:
Originally posted by
释选
at 2013-10-21 13:58:05
键合工艺,气密和低应力,能是低温的更好!
知道是有很多,但希望能够找到经典的几篇以供详读。不知您是否能提供一些,谢谢!...
低温的话,要看日本东北大学他们关于低温金属扩散键合的研究,他们是世界上第一个作出该类工艺的。我们是国内第一个做这方面工作的:)
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5楼
2013-10-21 17:41:18
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