应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 硅微器件的键合封装
51/1返回列表
查看: 1971  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

释选

银虫 (小有名气)

[交流] 硅微器件的键合封装

最近开始关注硅微器件的键合封装问题，想问大家有没有好的博士论文或其他参考文献以供参考，谢谢！
回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

静静一yi

» 猜你喜欢
1楼 2013-10-21 10:08:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

释选

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 13:08:15
键合工艺还是器件结构？只关注气密特性吗？
wafer level packaging的资料太多了，google吧。

键合工艺，气密和低应力，能是低温的更好！
知道是有很多，但希望能够找到经典的几篇以供详读。不知您是否能提供一些，谢谢！
赞一下 回复此楼
3楼2013-10-21 13:58:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
键合工艺还是器件结构？只关注气密特性吗？
wafer level packaging的资料太多了，google吧。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

释选
2楼2013-10-21 13:08:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
释选: 金币+2, 好建议 2013-10-21 21:12:07
引用回帖:
3楼: Originally posted by 释选 at 2013-10-21 13:58:05
键合工艺，气密和低应力，能是低温的更好！
知道是有很多，但希望能够找到经典的几篇以供详读。不知您是否能提供一些，谢谢！...

低温的话，要看日本东北大学他们关于低温金属扩散键合的研究，他们是世界上第一个作出该类工艺的。我们是国内第一个做这方面工作的：）
赞一下 回复此楼
5楼2013-10-21 17:41:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫缨涵

铁杆木虫 (知名作家)
祝福~~~~~~~~~~~~~~~
赞一下 回复此楼
6楼2013-10-21 18:06:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 基金不中，共勉 +8 eulota 2026-08-26 8/400 2026-08-27 12:34 by lice_1987
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难 +5 Kittylucky 2026-08-27 5/250 2026-08-27 12:10 by 姜太公烤鱼
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的？ +15 爱看书的可乐 2026-08-26 17/850 2026-08-27 11:29 by xxniao123
[基金申请] 面上合作单位盖章 +3 ssyjh 2026-08-27 3/150 2026-08-27 09:59 by 阿拉贡aragon
[基金申请] 看板上这么多中的，有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +4 a089 2026-08-26 5/250 2026-08-27 09:24 by Howard28
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜？ 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +13 大萍1987 2026-08-20 17/850 2026-08-27 08:20 by 大萍1987
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LIbGuocjEEYw 2026-08-26 4/200 2026-08-27 02:01 by Ie9AyIAvGbvs
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +7 process2012 2026-08-23 10/500 2026-08-26 19:23 by hmhminy
[基金申请] 怎么查啊 +5 huang1991js 2026-08-26 5/250 2026-08-26 16:09 by Equinoxhua
[基金申请] 科研孤儿太难了 +21 我4大白菜 2026-08-20 22/1100 2026-08-26 11:29 by nlgza
[基金申请] 国合里面能看到了 +7 一怀馨秋 2026-08-26 7/350 2026-08-26 11:23 by zhaosm1982
[基金申请] 国际合作可查了，中了面上 +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[职场人生] 学生撞见辅导员送外卖，第二天全班都沉默了 +3 鲸鱼融金_浙江_� 2026-08-22 3/150 2026-08-26 09:01 by zzuzxg
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 人气不行了 +11 fansofjerry 2026-08-21 11/550 2026-08-25 11:04 by 孤独的英雄6
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭