24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1712  |  回复: 5
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

leibniz713

金虫 (小有名气)

[求助] 微波等离子体激发氩气

有没有人尝试过在MPCVD设备上氩气激发等离子体。我准备用MPCVD制备超纳米金刚石膜(UNCD),调研文献基本都是氩气做主导气体。
但实际操作的时候发现,氩气很难激发出理想的等离子体,与以往氢气做主导气体差别很大。不知道有没有做过UNCD的同学能介绍一下经验。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

戴眼镜的麋鹿

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 龙行者 at 2013-10-16 21:43:35
本人也同样采用氩气生长UNCD,通过多次试验,认为必须通少量氢气才能稳定等离子球,通过先升高气压,再升高功率,且功率升高不要过快,不然就不稳定了!因装置而异,还需要自己慢慢调试!祝你成功!

你好,虫友,想问一下你使用MPCVD加氩气稳定放电的操作过程,我最近也遇到了相同的问题,不胜感激。
5楼2019-11-30 16:10:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

龙行者

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
本人也同样采用氩气生长UNCD,通过多次试验,认为必须通少量氢气才能稳定等离子球,通过先升高气压,再升高功率,且功率升高不要过快,不然就不稳定了!因装置而异,还需要自己慢慢调试!祝你成功!
要混就混出个名堂
3楼2013-10-16 21:43:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leibniz713

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 龙行者 at 2013-10-16 21:43:35
本人也同样采用氩气生长UNCD,通过多次试验,认为必须通少量氢气才能稳定等离子球,通过先升高气压,再升高功率,且功率升高不要过快,不然就不稳定了!因装置而异,还需要自己慢慢调试!祝你成功!


我认为气体的通入可以分这几种:1.氢气先通入激发后再通入氩气,
2.氢气氩气同时通入激发
3氩气先通入激发后再通氢气稳定
请问你是怎么样的情况?
4楼2013-10-17 08:41:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

戴眼镜的麋鹿

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by leibniz713 at 2013-10-17 08:41:07

我认为气体的通入可以分这几种:1.氢气先通入激发后再通入氩气,
2.氢气氩气同时通入激发
3氩气先通入激发后再通氢气稳定
请问你是怎么样的情况?...

你好,虫友,想问一下你使用MPCVD加氩气稳定放电的操作过程,我最近也遇到了相同的问题,不胜感激。
我单纯通入氩气启辉时,等离子体不在基片台上方,必须通入50%以上的氢气才能保证在正常位置启辉,能否提供一些建议,谢谢。
6楼2019-11-30 16:13:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料调剂 +5 小刘同学吖吖 2026-04-06 5/250 2026-04-06 18:34 by sherry_1901
[考研] 274求调剂求调剂 +5 Jachenbingoo 2026-04-06 5/250 2026-04-06 17:20 by 蓝云思雨
[考研] 化学调剂求助 +8 LULONG1 2026-04-03 8/400 2026-04-06 10:26 by dongzh2009
[考研] 295求调剂 +8 FZAC123 2026-04-03 8/400 2026-04-05 17:46 by 蓝云思雨
[考研] 296求调剂 +3 汪!?! 2026-04-05 5/250 2026-04-05 17:38 by 蓝云思雨
[考研] 282求调剂 +7 aaa车辆 2026-04-02 11/550 2026-04-05 17:24 by yulian1987
[考研] 男生,一志愿沪9生物学071000,初试308求调剂 +3 刘墨墨 2026-04-04 3/150 2026-04-05 08:26 by barlinike
[考研] 求生物学调剂 +14 15172915737 2026-04-01 14/700 2026-04-04 20:13 by babysonlkd
[考研] 材料调剂 +11 吴棂颖! 2026-04-03 11/550 2026-04-04 09:56 by 小小树2024
[考研] 295求调剂 +3 尚偌呀 2026-04-03 4/200 2026-04-03 21:23 by zhq0425
[考研] 335求调剂 +7 沈清璃 2026-04-03 7/350 2026-04-03 18:55 by lijunpoly
[考研] 机械专硕297 +3 Afksy 2026-04-03 3/150 2026-04-03 14:24 by 1753564080
[硕博家园] 求老师收留 +9 lllq123 2026-04-03 9/450 2026-04-03 13:48 by 呼吸都是减肥
[考研] 366求调剂 +7 sbdnd 2026-04-03 7/350 2026-04-03 12:40 by cymywx
[考研] 266分,一志愿电气工程,本科材料,求材料专业调剂 +9 哇呼哼呼哼 2026-04-02 9/450 2026-04-03 12:05 by 1753564080
[考研] 285求调剂 +7 AZMK 2026-04-02 9/450 2026-04-03 11:12 by wanwan00
[基金申请] 请问共同通讯和共同一作的认可度问题 10+4 psa1234 2026-04-01 10/500 2026-04-03 11:08 by Kittylucky
[考研] 农学考研求调剂 +3 dkdkxm 2026-04-01 3/150 2026-04-02 16:04 by wangjagri
[考研] 085900土木水利336分求调剂 +4 Zhangjiangj 2026-03-31 6/300 2026-04-02 11:40 by 1753564080
[考研] 310分求调剂 +4 成功上岸wang 2026-04-01 4/200 2026-04-01 20:35 by liu823948201
信息提示
请填处理意见