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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 微波等离子体激发氩气
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leibniz713

金虫 (小有名气)

[求助] 微波等离子体激发氩气

有没有人尝试过在MPCVD设备上氩气激发等离子体。我准备用MPCVD制备超纳米金刚石膜（UNCD），调研文献基本都是氩气做主导气体。
但实际操作的时候发现，氩气很难激发出理想的等离子体，与以往氢气做主导气体差别很大。不知道有没有做过UNCD的同学能介绍一下经验。
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1楼 2013-10-14 12:38:31
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戴眼镜的麋鹿

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 龙行者 at 2013-10-16 21:43:35
本人也同样采用氩气生长UNCD，通过多次试验，认为必须通少量氢气才能稳定等离子球，通过先升高气压，再升高功率，且功率升高不要过快，不然就不稳定了！因装置而异，还需要自己慢慢调试！祝你成功！

你好，虫友，想问一下你使用MPCVD加氩气稳定放电的操作过程，我最近也遇到了相同的问题，不胜感激。
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5楼2019-11-30 16:10:44
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龙行者

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
本人也同样采用氩气生长UNCD，通过多次试验，认为必须通少量氢气才能稳定等离子球，通过先升高气压，再升高功率，且功率升高不要过快，不然就不稳定了！因装置而异，还需要自己慢慢调试！祝你成功！
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要混就混出个名堂
3楼2013-10-16 21:43:35
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leibniz713

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 龙行者 at 2013-10-16 21:43:35
本人也同样采用氩气生长UNCD，通过多次试验，认为必须通少量氢气才能稳定等离子球，通过先升高气压，再升高功率，且功率升高不要过快，不然就不稳定了！因装置而异，还需要自己慢慢调试！祝你成功！


我认为气体的通入可以分这几种：1.氢气先通入激发后再通入氩气，
2.氢气氩气同时通入激发
3氩气先通入激发后再通氢气稳定
请问你是怎么样的情况？
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4楼2013-10-17 08:41:07
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戴眼镜的麋鹿

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by leibniz713 at 2013-10-17 08:41:07

我认为气体的通入可以分这几种：1.氢气先通入激发后再通入氩气，
2.氢气氩气同时通入激发
3氩气先通入激发后再通氢气稳定
请问你是怎么样的情况？...

你好，虫友，想问一下你使用MPCVD加氩气稳定放电的操作过程，我最近也遇到了相同的问题，不胜感激。
我单纯通入氩气启辉时，等离子体不在基片台上方，必须通入50%以上的氢气才能保证在正常位置启辉，能否提供一些建议，谢谢。
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6楼2019-11-30 16:13:26
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