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leibniz713

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[求助] 微波等离子体激发氩气

有没有人尝试过在MPCVD设备上氩气激发等离子体。我准备用MPCVD制备超纳米金刚石膜（UNCD），调研文献基本都是氩气做主导气体。
但实际操作的时候发现，氩气很难激发出理想的等离子体，与以往氢气做主导气体差别很大。不知道有没有做过UNCD的同学能介绍一下经验。

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1楼 2013-10-14 12:38:31

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leibniz713

金虫 (小有名气)

2楼2013-10-14 15:38:59

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龙行者

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【答案】应助回帖

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本人也同样采用氩气生长UNCD，通过多次试验，认为必须通少量氢气才能稳定等离子球，通过先升高气压，再升高功率，且功率升高不要过快，不然就不稳定了！因装置而异，还需要自己慢慢调试！祝你成功！

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要混就混出个名堂

3楼2013-10-16 21:43:35

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leibniz713

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3楼: Originally posted by 龙行者 at 2013-10-16 21:43:35
本人也同样采用氩气生长UNCD，通过多次试验，认为必须通少量氢气才能稳定等离子球，通过先升高气压，再升高功率，且功率升高不要过快，不然就不稳定了！因装置而异，还需要自己慢慢调试！祝你成功！