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leibniz713金虫 (小有名气)
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微波等离子体激发氩气
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有没有人尝试过在MPCVD设备上氩气激发等离子体。我准备用MPCVD制备超纳米金刚石膜（UNCD），调研文献基本都是氩气做主导气体。 但实际操作的时候发现，氩气很难激发出理想的等离子体，与以往氢气做主导气体差别很大。不知道有没有做过UNCD的同学能介绍一下经验。 |
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3楼2013-10-16 21:43:35
leibniz713
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