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CVD能够实现PVD的蒸镀功能吗? 已有3人参与
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| 比方说我在CVD石英管里的热区放上Cu箔和SiO2/Si片,载气为惰性气体,加热使Cu箔产生大量蒸汽,能顺着载气将Cu蒸镀到SiO2/Si片上吗? |
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各位高手们,请问PVD与CVD的区别!
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cord
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