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cloverbibi

木虫 (小有名气)

[交流] CVD能够实现PVD的蒸镀功能吗? 已有3人参与

比方说我在CVD石英管里的热区放上Cu箔和SiO2/Si片,载气为惰性气体,加热使Cu箔产生大量蒸汽,能顺着载气将Cu蒸镀到SiO2/Si片上吗?
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ChangetheWorld
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
多高温度Cu膜能汽化呢?
2楼2013-09-29 00:00:40
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welljay

木虫 (正式写手)

这个不能吧

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-09-29 00:21:16
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cloverbibi

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2013-09-29 00:00:40
多高温度Cu膜能汽化呢?

1100度,背底真空-4pa,没问题吧,铜很好蒸的
ChangetheWorld
4楼2013-09-29 19:17:10
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cloverbibi

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by welljay at 2013-09-29 00:21:16
这个不能吧

为什么呢?
ChangetheWorld
5楼2013-09-29 19:17:34
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sh2008808

银虫 (小有名气)

可以的
6楼2013-11-14 20:55:28
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