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graphene转移
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hhehe
新虫
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虫号: 1586816
[交流]
graphene转移
1)看了很多文献,基本都是会用polymer,但是用了后蚀刻不干净,不有残余,影响继续使用效果。有一篇伯克利弄的直接转移的,试了很多次,靠IPA来bonding转移基体和石墨烯铜箔根本就不靠谱,时有时没有。还有那种先刻在水里,再捞起来用的,同样感觉不靠谱。单层的石墨烯再水里很难辨别,而且离开铜基体后很容易crackle.
给位有用过比较好的方法来转么?
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1楼
2013-09-26 03:00:54
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张济1810
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★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
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4楼
:
Originally posted by
思凡的沙弥
at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出,旋涂PMMA,用FeCl3腐蚀掉Cu,再在水里洗干净,转移到硅片上,最后用茴香醚溶解PMMA,用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心,transfer总是很tricky的,lz要有耐心。
这个方法 残余物多吗
因为我一开始有打算用高温退火通氢气氩气 来去除PMMA的残余物的 但是我怕高温退火时 把目标基底PDMS给熔解了
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10楼
2015-03-17 09:33:28
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思凡的沙弥
银虫
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★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
连铜箔取出,旋涂PMMA,用FeCl3腐蚀掉Cu,再在水里洗干净,转移到硅片上,最后用茴香醚溶解PMMA,用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心,transfer总是很tricky的,lz要有耐心。
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4楼
2013-09-29 21:16:15
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zhoujngyuan
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★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
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4楼
:
Originally posted by
思凡的沙弥
at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出,旋涂PMMA,用FeCl3腐蚀掉Cu,再在水里洗干净,转移到硅片上,最后用茴香醚溶解PMMA,用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心,transfer总是很tricky的,lz要有耐心。
请问用茴香醚比直接用丙酮好么?我们现在是直接用丙酮溶解,请问二者在转移中有什么差别?
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6楼
2013-09-30 00:00:37
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4楼
:
Originally posted by
思凡的沙弥
at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出,旋涂PMMA,用FeCl3腐蚀掉Cu,再在水里洗干净,转移到硅片上,最后用茴香醚溶解PMMA,用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心,transfer总是很tricky的,lz要有耐心。
这样PMMA会有残余,没有办法完全清楚。而且单层的石墨烯,这么一圈折腾下来,肯定各种crackle
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7楼
2013-09-30 00:22:26
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