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hhehe

新虫 (初入文坛)


[交流] graphene转移

1)看了很多文献,基本都是会用polymer,但是用了后蚀刻不干净,不有残余,影响继续使用效果。有一篇伯克利弄的直接转移的,试了很多次,靠IPA来bonding转移基体和石墨烯铜箔根本就不靠谱,时有时没有。还有那种先刻在水里,再捞起来用的,同样感觉不靠谱。单层的石墨烯再水里很难辨别,而且离开铜基体后很容易crackle.
给位有用过比较好的方法来转么?
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hhehe

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
4楼: Originally posted by 思凡的沙弥 at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出,旋涂PMMA,用FeCl3腐蚀掉Cu,再在水里洗干净,转移到硅片上,最后用茴香醚溶解PMMA,用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心,transfer总是很tricky的,lz要有耐心。

这样PMMA会有残余,没有办法完全清楚。而且单层的石墨烯,这么一圈折腾下来,肯定各种crackle
7楼2013-09-30 00:22:26
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思凡的沙弥

银虫 (小有名气)



hhehe(金币+1): 谢谢参与
连铜箔取出,旋涂PMMA,用FeCl3腐蚀掉Cu,再在水里洗干净,转移到硅片上,最后用茴香醚溶解PMMA,用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心,transfer总是很tricky的,lz要有耐心。
4楼2013-09-29 21:16:15
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zhoujngyuan

新虫 (小有名气)



hhehe(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
4楼: Originally posted by 思凡的沙弥 at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出,旋涂PMMA,用FeCl3腐蚀掉Cu,再在水里洗干净,转移到硅片上,最后用茴香醚溶解PMMA,用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心,transfer总是很tricky的,lz要有耐心。

请问用茴香醚比直接用丙酮好么?我们现在是直接用丙酮溶解,请问二者在转移中有什么差别?
6楼2013-09-30 00:00:37
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antimatter

木虫 (小有名气)



hhehe(金币+1): 谢谢参与
用手机贴膜,基本没有残留。
8楼2013-09-30 10:10:42
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